2015年12月，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金大基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資成立江蘇鑫華半導體材料科技有限公司，打造國內首條5000噸半導體集成電路專(zhuān)用電子級多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)。2017年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導體正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品。鑫華電子級多晶硅的自主生產(chǎn)，標志著(zhù)我國電子級多晶硅突破海外多年技術(shù)封鎖，填補國家集成電路產(chǎn)業(yè)專(zhuān)項一項空白。
集成電路用高純硅料項目是工業(yè)和信息化部強基工程中標項目、科技部02專(zhuān)項子項目，自去年電子級多晶硅產(chǎn)品面世以來(lái)，為了盡快推向市場(chǎng)，鑫華半導體與國內晶圓加工廠(chǎng)廣泛接觸，開(kāi)展新產(chǎn)品測試，晶圓廠(chǎng)家測試后，再向下游的芯片廠(chǎng)家提出新產(chǎn)品測試。一層層測試下來(lái)，從眾多手機廠(chǎng)家反饋回來(lái)的信息，沒(méi)有想到國內多晶硅廠(chǎng)家能夠生產(chǎn)出等級這么高的產(chǎn)品，完全達到國際一流電子級多晶硅各項指標。
江蘇鑫華半導體材料科技有限公司總經(jīng)理田新告訴記者，就電子級多晶硅而言，這是鑫華半導體研發(fā)團隊歷經(jīng)317次電子級多晶硅生產(chǎn)試驗一年多時(shí)間，對629項技術(shù)、設備優(yōu)化改進(jìn)，以70%的國產(chǎn)設備，系統性解決了雜質(zhì)釋放問(wèn)題，實(shí)現了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)，并且全球首創(chuàng )采用自動(dòng)化無(wú)接觸硅料處理系統。目前，公司正在就相關(guān)技術(shù)和工藝申請國家專(zhuān)利。在5月份實(shí)現對韓國出口高純度硅料后，鑫華半導體公司最近還要向我國臺灣地區的晶圓廠(chǎng)家批量供應集成電路用硅料。
現在，鑫華半導體公司第一條生產(chǎn)線(xiàn)的產(chǎn)能為5000噸，產(chǎn)品向國內國際市場(chǎng)鋪開(kāi)后，可保證國內企業(yè)三至五年內電子級多晶硅不會(huì )缺貨。未來(lái)兩三年內，還將計劃再上一條5000噸生產(chǎn)線(xiàn)，以更好地滿(mǎn)足國際國內市場(chǎng)。
