1PERC電池片與常規電池片
常規電池采用常規背場(chǎng)電池(BSF)結構，具有先天局限性，隨電池效率提高，局限性越發(fā)明顯。應用于BSF電池背場(chǎng)金屬鋁薄膜不能降低背面復合速度，如降至200cm/s以下。達到金屬鋁背層紅外輻射光僅60%-70%能反射回去。
PERC電池采用PERC技術(shù)需在常規背電場(chǎng)(BSF)技術(shù)基礎上增加背面鈍化解決方案。在具體實(shí)施中，需要沉積一層背面鈍化膜，然后在這層膜上開(kāi)槽實(shí)現背面接觸。通過(guò)在電池背部附上介質(zhì)鈍化層，可減少光電損失，提高電池效率。
2PERC電池EL缺陷分析
2.1 局部劃傷
在PERC電池制備工程中，難免存在局部劃傷痕跡，對于背表面非常好的鈍化膜來(lái)說(shuō)，劃傷痕跡使得背表面復合速率局部下降，這些劃痕可能不影響整體效率，但從EL照片看會(huì )出現劃痕陰影，歸為次品，有些企業(yè)這種因劃傷造成的EL次品會(huì )達20%～30%。劃痕產(chǎn)生原因與在工藝過(guò)程中蹭片，工人操作手法，操作工序設備等有關(guān)，較難避免。
2.2 工藝污染
在PERC電池制備工程中，由于電池片清洗不干凈、吸盤(pán)接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵沾污等等。
3PERC電池EL缺陷成因分析
3.1 PERC電池工藝流程及相關(guān)設備
PERC電池主要工藝流程包括以下幾個(gè)方面:
一是去切割損傷和制絨生成金絨面，在此工藝環(huán)節所用到的主要設備為捷佳創(chuàng )單晶槽式制絨;
二是擴散生成PN結，在此工藝中所涉及設備為T(mén)empress擴散爐、R2D自動(dòng)化、捷佳創(chuàng )低壓擴散爐;
三是邊緣刻蝕和去磷硅玻璃，此環(huán)節需要儀器SCHMID刻蝕機、SCHMID自動(dòng)動(dòng)化儀器;
四是背鈍化在硅片背面沉積三氧化二鋁膜和氮化硅膜，此環(huán)節需儀器MeyerBurger的一體機式鍍膜機、羅博特科自動(dòng)化儀器;
五是PECVD正面沉積氮化硅膜，在該工藝流程中所使用到主要儀器包括CT管式鍍膜機、Baumann自動(dòng)化;
六是背面激光開(kāi)孔實(shí)現背面漿料與硅材料局部接觸，該工藝用到為帝爾激光儀;
七是絲網(wǎng)印刷，此工藝采用ASYS印刷機;
八是烘干、燒結、光照加退火工藝，此工藝用到Despatch燒結退火爐;九是測試分析，主要儀器為ASYS分選機、BERGER測試機。
3.2造成劃傷、污染主要成因
通過(guò)實(shí)踐操作分析可知，造成PERC電池劃傷、污染原因：
制絨工序:去損傷不完全、清洗殘留、人員接觸、烘干污染、粉塵污染、油污等;插片、
倒片工序:皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染等;
擴散工序:吸片、舟卡槽及硅片間摩擦;刻蝕工序:滾輪劃傷、清洗殘留、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、烘干污染、粉塵污染、油污等;
背鈍化工序:吸盤(pán)接觸、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染等;
PECVD工序:吸盤(pán)接觸、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、舟片接觸、人員接觸、粉塵污染等;
激光開(kāi)孔工序:吸盤(pán)接觸、皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、粉塵污染、人員接觸等;
絲網(wǎng)印刷:皮帶接觸、導條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染、漿料污染等;
烘干、燒結、退火工序:人員接觸、粉塵污染、爐帶污染、油污等;測試分析:吸盤(pán)接觸、皮帶接觸、導條接觸、人員接觸、粉塵污染等?？傊?，造成劃傷、污染主要成因可歸結為工藝因素、設備因素和人員因素。
4降低PERC電池EL缺陷措施探究
針對PERC電池EL缺陷，需要針對具體問(wèn)題分析，并采取針對性措施。
1.去損傷不完全缺陷，嚴格控制原始硅片檢驗工作，減少?lài)乐厝毕萜魅?優(yōu)化藥液配比及工藝時(shí)間，去除硅片損傷。
2.針對滾輪劃傷缺陷，定期檢查錐形齒輪磨損情況、上下滾輪位置、滾輪活動(dòng)部件松緊程度，如有異常及時(shí)維修維護;定期檢查、優(yōu)化導向輪部件位置。
3.在殘留清洗方面:優(yōu)化清洗槽噴淋流量;定期清洗槽濾芯。
4.針對皮帶接觸方面:刻蝕下料加裝翻片器，減少硅片背面與皮帶接觸;定期檢查硅片進(jìn)盒位置、感應器位置，減少皮帶與硅片摩擦;定期清潔、更好皮帶，減少皮帶硅粉、漿料沾污。
5.導條接觸:優(yōu)化導體位置，減少硅片接觸頻率;定期清潔，減少導體硅粉、漿料沾污;定期更換耐磨膠帶，減少與硅片摩擦。
6.花籃接觸:定期清洗花籃，減少花籃沾污;定期優(yōu)化自動(dòng)化位置，減少硅片與花籃齒摩擦;定期檢查花籃尺寸，及時(shí)清退變形花籃。
7.吸盤(pán)接觸:定期清潔吸盤(pán)，減少吸盤(pán)沾污;定期優(yōu)化自動(dòng)化位置，減少吸盤(pán)與硅片摩擦。
8.舟片接觸:定期清洗石墨舟、框，減少吸盤(pán)沾污;定期優(yōu)化自動(dòng)化位置，減少石墨舟、框與硅片摩擦。
9.人員接觸:加強產(chǎn)線(xiàn)管理，避免一切接觸片、沾污片流入下道工序;加強操作管理，減少人員搬運、檢查時(shí)造成的硅片劃傷、沾污。
10.烘干污染:是定期清理烘干區域碎片，減少顆粉塵污染;定期更換濾芯，清潔管道、風(fēng)刀、滾輪等。
11.爐帶污染:定期清洗爐帶、減少路帶油污;定期檢查路帶變形情況，隨時(shí)對其調整、更換。
12.粉塵污染:刻蝕后硅片運輸背鈍化工序時(shí)采用密封運輸，減少運輸過(guò)程中硅片污染;尚未進(jìn)行背鈍化硅片，必須存儲至恒溫、正壓氮氣密封柜內，且時(shí)間不宜過(guò)長(cháng);一體式鍍膜機，保養要徹底、完全，避免腔室內粉塵滯留;加強車(chē)間管理，降低車(chē)間空氣粉塵顆粒，確保潔凈度穩定、達標。
5結論
為降低PERC電池鈍化膜損傷及各種EL缺陷出現，PERC電池生產(chǎn)過(guò)程中必須從細節入手，通過(guò)制定詳細、完善、科學(xué)工藝方案、設備管理、保養制度，以及對人員操作、工藝制成的細致化、嚴格化管理、高效執行力，最終確保PERC電池片生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)設備、生產(chǎn)環(huán)境規范化、穩定化、潔凈化得以實(shí)現。
